鎢鉬合金濺射靶材

鉬鎢合金材料可以在比鉬或鉬合金承受溫度更高的溫度下使用。鉬鎢合金比鉬具有更優秀的導電、抗氧化性能及更低的鍍膜應力，更加滿足平面顯示器鍍膜生產線對濺射靶材的要求。尤其是含鎢3.5%‑25%的鉬鎢合金更加適用於高品質的平面顯示器。

就現有技術而言，適用於平面顯示器的濺射鍍膜生產的鎢鉬合金濺射靶材，特別是具有成分均勻、無偏析、晶粒細小等性能的鉬鎢合金濺射靶材需要非常精密的工藝才能完全滿足高品質平面顯示器的要求，這種鎢鉬合金濺射靶材可採用如下技術方案製造：

1）備料：所用粉末為鉬粉、鎢粉。粉末的物理性質為：鉬粉的Mo含量≥99.95%，細微性5μm；鎢粉的W含量≥99.95%，細微性5μm。

2）配粉：將鉬粉、鎢粉按照一下品質百分比比例稱取，鉬粉含量為96.5%，鎢粉含量為3.5%，將兩者混合均勻。

3）機械合金化：機械合金化是利用高能球磨的研磨、破碎、冷焊作用和機械力作用下的低溫固相反應，合成納米級鉬鎢合金粉末。將鉬粉與鎢粉按比例混合，在行星高能球磨機中球磨，球磨時在真空環境中進行，球料比為1:1.5，球磨時間為48h。

4）裝模：將上述得到的混合後的鉬鎢合金粉，填充在橡膠模套內，製備成空心的粉質鉬鎢合金板坯。

5）冷等靜壓壓制：將空心的粉質鉬鎢合金板坯放入冷等靜壓力機壓制成型，得固體鉬鎢合金板坯；

6）燒結：將成型後的固體鉬鎢合金板坯放入中頻燒結爐內，爐內通入氫氣，燒結過程處於氫氣環境

7）將燒結後的產物將燒結後的產物，在1600℃下加熱3h，開坯，置於熱軋機中軋製，在1600℃下軋製3h，共進行四火次軋製，每火次包括三道次，得到尺寸厚度為25mm的鉬鎢合金板坯。

8）真空退火：將軋製後的鉬鎢合金靶材放入真空退火爐內，進行真空退火，用於消除內應力、為以後的機械加工作準備；具體的退火工藝為：在1300℃保溫2h，然後緩慢冷卻至室溫。

9）機械加工：將經過退火處理的鉬鎢管進行機械加工，包括銑表面、銑側面、線切割圓弧、磨板面。使表面光潔度達到Ra≤0.8μm即可，然後對所得產品進行品質檢測，清洗後包裝。

經過多火次多道次高溫軋製、真空退火工藝，使鉬鎢合金內部晶粒結構發生變化，形成纖維狀晶粒，並產生二次結晶，從而細化晶粒，使得最終製備出的鉬鎢合金平面靶材具備了更高的強度及密度，可提高濺射鍍膜速度，並提高薄膜層的均勻性和沉積率，滿足了更加滿足平面顯示器鍍膜生產線對濺射靶材的要求。

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