氧化鎢無機物活化

用無機物對氧化鎢進行活化，可以降低感測器工作溫度，提高其對各類氣體的回應特性。這是由於氧化鎢和多孔矽碳納米管複合相互結合時會出現異質結。這樣的異質結構能有效提高回應特性，而多孔矽、碳納米管能提供更多的氣體吸附位點，進而提高回應特性。

多孔矽作為一種常見的材料，時常將氧化鎢納米粒子浸沾到多孔矽上。通過溶膠-凝膠法合成氧化鎢，並將它沉積到多孔矽上，這樣合成的感測器在室溫條件下對於二氧化氮有很好回應，並且可以檢測其氣體。將氧化鎢納米粒子沉積到多孔矽上，由於在結合面合成異質結，其回應特性顯著提高。在室溫條件下，對二氧化氮的靈敏度可以達到3.37。相較純多孔矽以及在檢測溫度為150℃下氧化鎢納米氣敏層，其靈敏度有顯著提升。通過將含有氧缺陷態的氧化鎢濺射到多孔矽基板上製備室溫二氧化氮感測器，也發現異質結的現象，極大提高了回應特性。

多孔矽給二氧化氮提供了更多的氣體吸附位置，加快了回應和恢復速度，加上存在著較多的氧空位以及p-n異質結，在室溫下對二氧化氮靈敏度為6。通過這種方式製備得到的氧化鎢感測器在室溫下也顯示出 p 型半導體感測器的回應特性。由於它具有較大的比表面積、p-n 異質結以及存在較多的氧空位。