氧化鎢納米花薄膜製備流程

氧化鎢納米花薄膜作為一種新型材料薄膜有著其獨特的性能優勢，故其製備流程有著十分重要的作用。氧化鎢納米花薄膜的製備流程如下：

（1）使鎢金屬顆粒通過氧化鎢納米線的范德華力緊貼在基片上： 把石英片作為基底，用無水乙醇和去離子水分別超聲清洗10 分鐘，把基片放入烘乾箱中在120 ℃下乾燥處理。將0.5 mg粒徑為10μm的鎢金屬粉末均勻鋪在鎢舟表面上。將基底倒扣在鎢粉表面。

（2）通過熱氧化法，在真空度是5 Pa、氧氣流量是2.5sccm與氬氣流量是200sccm的條件下。以60℃/分鐘 的升溫速度，把基底從常溫逐漸升溫到800 ℃後，保溫5 分鐘，在基底上生長氧化鎢納米線，使鎢粉貼附在其表面上。從電鏡圖中可以看出，襯底和鎢粉之間形成了緻密的納米線層，成為了襯底和鎢粉之間的粘連帶，解決鎢粉和襯底之間晶格不匹配導致的氣敏材料層黏附性較差的問題。

（3）將襯底上的鎢金屬顆粒生長為氧化鎢納米花薄膜。之後將基底正面朝上後，用真空熱蒸發鍍膜機，通過種子種植法，在真空度是5 Pa、氧氣流量是2.5sccm、氬氣流量是200sccm的條件下，以60℃/分鐘的升溫速度，把基底從常溫逐漸升溫到800 ℃後，保溫15分鐘。最後以60℃/分鐘的降溫速度，把樣品降溫至室溫，使鎢金屬種子生長為氧化鎢納米花薄膜。

（4）生長氧化鎢納米花薄膜：將襯底在空氣中以500 ℃條件退火3小時，使氧化鎢納米花結構體完全氧化，得到氧化鎢納米花薄膜。