改變氬-氧比例製備三氧化鎢薄膜

磁控濺射法作為製備三氧化鎢薄膜的製備方法之一,有著許多獨特的優異性能。在磁控濺射法製備三氧化鎢薄膜的過程中,不同的氬-氧比例所製備的三氧化鎢薄膜結構性能也有著許多的差異。同時氬-氧比例的不同也影響著三氧化鎢薄膜的表面特性。

對比氬-氧比例比為 4:1、7:3、1:1 時(濺射功率為 80W、腔室壓強為1.2Pa)的透射光譜圖可以發現氬氣含量的過大過小都會降低三氧化鎢薄膜電致變色性能,氬-氧比例比為 7:3的條件下所測試得出的透射率差值最為理想。我們知道三氧化鎢是一種有著類鈣鈦礦結構的一種複合氧化物,可以表示為ABO3。其中B被W佔據著,而A所在的陽離子位置是空的,每一個鎢原子都被6個氧原子所圍成的正八面體包圍。正是由於這種孔隙度與顏色的變化有密切的聯繫,從而影響薄膜的變色。

氧化鎢圖片

對於製備的非晶態的三氧化鎢薄膜來說,其八面體的排列是三維的無序網狀結構,即會形成自然地多邊形隧道。著色時離子通過隧道進入 A 的空位,褪色時,離子從隧道被抽出。這也正是我們所制取得非晶態薄膜更有利於電致變色的原因。適當的氧流量製備出的薄膜在著色態和褪色態可見光區域內的透射率可達到 80%以上,是理想的製備條件。

氧化鎢圖片

 

 

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