Ta摻雜氧化鎢電致變色薄膜中，Ta摻雜量的多少會影響三氧化鎢薄膜光譜調製能力的好壞。氧化鎢薄膜的光學調製幅度ΔT為著色態與退色態透射率的差值。

相對於三氧化鎢薄膜，鉭摻雜WO3薄膜的著色效率有所提高，即薄膜的電致變色性能改善了，其中，鉭摻雜量的臨界值為15%，過度的摻雜則不利於薄膜呈現出高的電致變色效率。

薄膜的迴圈壽命是電致變色材料應用的一個重要參數，也是評價其性能好壞的重要標準之一。因而，有專家採用迴圈伏安法對Ta摻雜WO3薄膜的迴圈壽命進行測試，即在薄膜樣品上反復施加-0.6～+0.6V的電壓，使薄膜迴圈著退色多次，觀察樣品在50次迴圈後的迴圈伏安曲線的穩定性。未摻雜和摻雜15%鉭的氧化鎢薄膜的迴圈伏安曲線如下圖所示。

Ta摻雜氧化鎢薄膜的電致變色性能是怎樣的情況？有專家通過下列實驗獲知。

專家表示，室溫下沉積獲得的純三氧化鎢薄膜為非晶態電致變色薄膜，薄膜表面光滑，質地均勻且多孔。而鉭摻雜納米三氧化鎢電致變色薄膜也是非晶結構。當鉭摻雜量在一定範圍內時，薄膜表面光滑均勻。隨著鉭摻雜量的增加，開始有較大的顆粒鑲嵌在薄膜內部，這些顆粒較為緻密，破壞了薄膜的多孔性和均勻性。當摻雜量達到35%時，在薄膜表面甚至出現了微米級別的顆粒。

摻Ta三氧化鎢就是將Ta2O5與WO3相複合，可以結合兩種材料的優勢，實現更高的機械和化學相容性，從而提高器件的穩定性和壽命，也就是說，以此複合材料製備得到的電致變色薄膜的性能將得到改善。

鉭摻雜氧化鎢可以用於製備電致變色薄膜，而鉭摻雜的氧化鎢電致變色薄膜可以採用磁控濺射方法製備得到，以改善氧化鎢電致變色薄膜的電化學迴圈穩定性。

結晶態三氧化鎢膜可以通過磁控濺射沉積再通過熱處理獲得。通過磁控濺射沉積獲得的是非晶態三氧化鎢膜，在空氣中分別加熱200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，並保溫30min進行熱處理。隨著熱處理溫度的提高，非晶態三氧化鎢膜的電致變色性能下降。當熱處理溫度高於350℃時，非晶態轉變成結晶態。

三氧化鎢可以用於製備電致變色薄膜，最終以電致變色玻璃即智慧窗的形式應用到建築玻璃上，起到節能降溫的作用。

氧化鉬摻雜氧化鎢電致變色薄膜的著色態和漂白態的顏色都比純氧化鎢薄膜深。這是因為MoO3本身是一種變色特性類似WO3的電致變色材料，其著色態呈藍紫色，漂白態呈黃色。而純氧化鎢薄膜的著色態呈藍色，漂白態幾乎無色透明。