製備三氧化鎢摻雜薄膜

三氧化鎢（WO₃）摻雜薄膜是一種優良的氫敏材料，因其具有良好的電致變色、氣致變色、光致變色、電化學性能而得到廣泛的研究和應用，尤其是其氣致變色性能在氣體感測器方面有廣闊的應用前景。在鉑（Pt)、鈀(Pd)等稀有金屬的催化下，WO₃薄膜對H2在常溫下就具有良好的氣致變色效應，是一種重要的功能材料。

用溶膠凝膠法和直流磁控濺射法相結合製備的摻Pd（或Pt）三氧化鎢薄膜的晶化溫度比純的三氧化鎢薄膜晶化溫度高，在460℃下退火處理後才有少量的晶態結構存在；分光光度計測試結果表明：純WO₃凝膠薄膜有很高的透光率（>90%），但摻鈀或摻鉑後薄膜透光率下降明顯；且在相同條件下製備的摻鈀的薄膜比摻鉑的薄膜的透光率要高些；摻鉑薄膜樣品在100℃、200℃、300℃、400℃、500℃退火處理後的透光率隨著退火溫度的升高，薄膜透光率逐漸降低，這與不摻雜的三氧化鎢薄膜具有相同的性質。

三氧化鎢基摻Pt（Pd）薄膜的製備建立在溶膠凝膠法和直流磁控濺射法相結合的方法，在鎢酸溶膠的製備中，加入H₂O₂、乙醇能增強鎢酸溶膠的穩定性。當H₂O₂與鎢酸的摩爾比為1：2，乙醇與鎢酸體積比為1：2時，溶膠的保存時間較長，成膜品質可以起到保鮮效果。
三氧化鎢表面在100℃退火處理後變得比較平整，其分子呈四面體結構，三氧化鎢分子轉變為立方體結構在經過400℃退火處理後表面變的更加平整，三氧化鎢分子轉變為立方體結構。

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