製備鎢錸熱電偶絲抗氧化塗層方法-磁控濺射法

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2014-12-16, 週二 16:18

鎢錸熱電偶絲具有熔點高，強度大，蒸汽壓低，但極易氧化的特點。在非氧化性氣氛中化學穩定性好，在惰性氣體中短時間工作溫度甚至可達3000℃，熱電勢大，靈敏度高，熱電勢絕對值是鉑銠熱電偶的2-3倍。隨著高溫感測器應用範圍的擴展以及使用溫度的不斷提高，高溫下抗氧化問題成為了提高感測器性能的重要問題之一，為了防止結構材料在高溫下的氧化可通過在鎢錸熱電偶絲的表面增加抗氧化塗層從而降低該熱電偶被氧化的可能性。以下介紹製備鎢錸熱電偶絲抗氧化塗層磁控濺射法。

磁控濺射法師目前抗氧化塗層工藝中應用較為廣泛，工藝成熟的方法之一。其製備方法是，首先以鎢錸熱電偶絲為基體，利用加速的電子與氬原子發生碰撞，產生大量氬離子和電子，電子飛向基體，氬離子在電場作用下飛向靶材。氬離子轟擊靶材，濺射處中性的靶原子，最終，在這些靶原子的基體上不斷沉積形成所需的薄膜，即為鎢錸熱電偶絲抗氧化塗層。

磁控濺射法製備的抗氧化塗層具有成膜速率高，膜厚可控，重複性較好，且具有較好的附著性。

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