電子特氣六氟化鎢

電子特氣，即電子特種氣體，是工業氣體行業的細分行業之一，是積體電路、平面顯示器件、半導體晶圓、太陽能電池等電子工業生產過程中不可或缺的關鍵原材料。其中，六氟化鎢（WF6）是目前鎢的氟化物中唯一穩定並被工業化生產的品種。

六氟化鎢，分子量297.84，沸點17.5℃，熔點2.3℃，在氣體形態時一般為無色，有毒，具腐蝕性，為密度（13g/L）最大的氣體之一，其化學性質活潑。幾乎能和除金和鉑外所有金屬反應。

六氟化鎢在電子工業中一般作為金屬鎢化學氣相沉積（CVD）工藝的原材料，特別是用它製成的二矽化鎢（WSi2）是一種高性能的導電陶瓷材料，可用作大型積體電路中的配線材料。此外，六氟化鎢還可以作為半導體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。

隨著電子工業的加速發展以及電子產品的不斷更新反覆運算，市場對於原材料六氟化鎢的產能有了更大的需求，同時也對其純度提出了更高的要求，一般在99.99%以上。目前全球各國正在積極拓展六氟化鎢的產能與產品品質以及下游應用領域。作為鎢資源大國，中國自然不會落後。

河北省在《新時期促進積體電路產業和軟體產業高品質發展的若干政策》中提出，將依託中船重工718所，加快發展三氟化氮、六氟化鎢等顯示、積體電路用特種電子氣體材料，建設國內領先的新型功能電子材料產業化基地。

據悉，河北省六氟化鎢產品規模居世界第一，2020年河北省國積體電路製造增加值同比增長64.9%。

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