三氧化鎢是製備電致變色薄膜的一種重要原材料。據悉，有專家以金屬鎢與鎢鈦合金為靶材，採用脈衝直流反應磁控濺射的方法分別製備了WO3與Ti摻雜WO3薄膜，並研究了薄膜厚度對薄膜晶體結構，表面形貌以及調製幅度、回應時間、迴圈壽命等電致變色性能的影響。他們發現：

電致變色指的是材料的光學屬性在外加電場的作用下發生穩定、可逆的顏色變化的現象，在外觀上表現為顏色和透明度的可逆變化，其中，氧化鎢薄膜就是一種具有電致變色性能的材料。

Mo摻雜WO3薄膜是一種電致變色材料，可以應用到大面積建築玻璃上，獲得電致變色智慧窗，最終起到隔熱保溫的作用。對於此，有專家通過噴霧熱解法製備得到不同濃度的鉬摻雜的納米晶三氧化鎢薄膜，並發現：

納米晶氧化鎢薄膜具有優異的電致變色性能。從材料角度來看，氧化鎢薄膜的電致變色性能主要與離子擴散係數和擴散途徑相關。所以，為了改善氧化鎢薄膜電致變色性能，有專家通過控制氧化鎢的結構和形貌實現。