通過熱化學氮化方法制得的改性的氮化鋁/藍寶石基板的表面的形態

藍寶石是最廣泛使用的基板為基於氮化物的氮化鎵、氮化銦、氮化鋁和它們的固溶體的技術設備能力的材料。然而，氮化物的異質外延的藍寶石襯底上導致高的位錯密度和其他結構缺陷，由於在晶格參數以及這些材料的熱膨脹系數的差異，以該方法。這實質上是異質結構複雜，高功能特性的獲得。由於商業生產的基板為同質外延生長的是昂貴的，許多注意力被支付到現今使用改性藍寶石襯底與緩沖層的氮化物（氮化鎵/藍寶石或氮化鋁/藍寶石模板），其發揮的固有氮化准基板的作用。已經開發出一種新方法的氮化鋁/藍寶石模板基於藍寶石含有氮氣，一氧化碳，二氧化碳，氫氣， 水分子與二氧化鈦和水分子的低濃度混合氣體氮化的獲得。

此方法允許獲得極性的氮化鋁 / /氧化鋁，氮化鋁/ /氧化鋁） ，半極性（氮化鋁/ /氧化鋁）和非極性（氮化鋁/ / 氧化鋁）的結晶性的氮化鋁藍寶石的表面上的層。20-30納米的和幾微米之間的厚度範圍內，搖擺曲線的半寬度小於1°。在對比中，外延膜是使用外部信號源獲得的，在給定的方法氮化鋁層眾所周知的沉積方法是由於氮在陰離子不足剛玉其次晶體的化學轉化的藍寶石的表面相鄰的層中的溶解形成基材。因此，在氮化物層是剛玉減少隨後在基片表面的蝕刻階段之後形成。本工作的目的是要建立減少氮化鋁/藍寶石模板表面的形貌藍寶石基板退火的影響規律。


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