從正的氧化鋅紫外發光:GA/P-ZnO與p型氧化鋅藍寶石襯底氮同質結裝置通過退火氧化氮等離子周圍形成氮層

 
 

氧化鋅同質結發光器件(LED)用正的氧化鋅:鎵的苯乙烯/對 - 氧化鋅:無結構是由金屬有機物化學氣相沉積制造藍寶石襯底在藍寶石襯底上。可再現的p型氧化鋅:氮層與空穴濃度1.29 × 1017厘米-3形成了以氨為隨後的氧化氮等離子保護環境的熱退火摻氮源。該器件表現出理想的整流行為。不同的電致發光發射中心在3.2 eV和2.4 eV的從該設備在正向偏壓下在室溫下進行檢測。在強紫外線輻射媲美的電致發光光譜的可見光發射,這代表了氧化鋅同質結LED的性能顯著進展。

氧化鋅外延層已經被沉積的化學氣相傳輸上的單晶藍寶石基板。氧化鋅層已經沉積了厚度為100μ的。 X射線分析表明,氧化鋅的c軸,可向平面平行於面取向的藍寶石襯底。電阻率一般是從1到10Ω厘米,但可以顯著提高鋰或鈉的擴散。


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