熱火運輸和數值研究熔體和氣體的藍寶石提拉法晶體生長的播種過程中流體流動

為藍寶石的直拉單晶生長的籽晶的過程中,對流量和溫度場與不平的熔體-氣體介面數值用有限元方法進行了研究。藍寶石提拉法通常最初用在真正的直拉晶體生長過程中的配置包括一個坩堝,活躍後熱器,感應線圈有兩個部分,保溫,熔化,和天然氣。首先,由射頻(RF )線圈在整個系統中和熱的體積分佈的金屬坩堝和熱器內所產生的電磁場進行了計算。使用這種熱量分佈作為源,流體流動和溫度場,在整個系統中進行測定。

已考慮兩種情況:

( 1 )配置無坩堝和後熱之間的差距

( 2)有間隙,對應於我們的實驗室經常使用的增長態勢。

它表明,有源熱器,其位置相對於該坩堝的影響顯著的氣體在腔室中和部分也熔體中的溫度和流場。


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