六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學生産過程中鎢的化學蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較强的腐蝕性和毒性等特點，主要應用于半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當前的生産技術却很難生産出高純度WF6。

與仲鎢酸銨（APT）和偏鎢酸銨（AMT）一樣，磷鎢酸鈉也是一種用途十分廣泛的鎢酸鹽。更詳細地說，磷鎢酸鈉是一種由鎢酸鈉和磷酸氫二鈉共溶于水，加入濃鹽酸後濃縮結晶而制得的一種無機化合物，是由鎢、磷、氧和鈉四種元素組成的一種純度高達99%的白色粉末，英文名爲Sodium Phospho tungstate或sodium Phospho wolframat，化學式Na3O40PW12，分子量2946，CAS號爲51312-42-6，EINECS號爲234-716-1。

鎢合金的化學成分除了有硬質相鎢元素，粘結相鎳、鐵或銅元素之外，還有一定量的雜質元素，如碳、氫、氧、氮、磷和硫等元素，它們都會對鎢合金的導電性造成一定的影響。下面主要介紹的是雜質元素對鎢合金導電性的影響。

與磷鎢酸鈉（Na3O40PW12）一樣，磷鎢酸銨也是一種不常見的鎢酸鹽，是一種典型的白色晶體粉末，具有良好的物理性質和化學性質，廣泛應用于石油、催化和化學工業等領域中。