高性能氮化鎵基發光二極管與圖案的矽鋁複合鈍化層和備氧化鈦/氧化鋁DBR反射鏡背面圖案化藍寶石基板

氮化鎵基發光二極管（LED）上的圖案化藍寶石基板（ PSS）與圖案的複合二氧化矽/氧化鋁鈍化層和氧化鈦/氧化鋁分布布拉格反射器（DBR）反射鏡的背面已經提出並制造。高度鈍化的氧化鋁層上沉積銦錫氧化物（ITO）具有優良的均勻性和質量層已經實現了用原子層沉積（ALD）技術。以60毫安的電流注入， 21.6％ ， 59.7 ％ ，而在460毫微米波長的光輸出功率（LOP ）63.4 ％的增強，實現了用於LED的複合圖案的氧化矽/氧化鋁的鈍化層，在與圖案化的複合材料的氧化矽/氧化鋁的鈍化層和Ag反射鏡+ 3 - 對二氧化鈦/二氧化矽的DBR反射鏡的背面，並且LED指示燈用圖案化的複合二氧化矽/氧化鋁鈍化層和Ag +鏡3對ALD生長的二氧化鈦/氧化鋁的DBR反射鏡的背面與以往相比僅由單一的氧化矽鈍化層 。

定期三角棱錐陣列由一個低成本，高效率的激光幹涉光刻技術（ LIL ）系統成功制備在藍寶石襯底上。通過幹法刻蝕和濕法刻蝕技術相結合，所述納米級圖案化藍寶石基板（ NPSS ）具有均勻尺寸的准備。的圖案的周期為460nm的作為設計匹配的藍色光波長的發光二極管（LED） 。通過改善LIL系統的穩定性和優化的工藝參數，定義良好的三角形截棱錐陣列可以與50.8毫米直徑的藍寶石襯底上實現的。三角形截棱錐陣列的底部寬度的偏差為6.8 ％，這是接近3％的工業生產水平。


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