微帶對各向異性藍寶石襯底的准靜態特性

該明確定義的和單晶藍寶石的可重複的電性能，使其對於微帶一個有吸引力的襯底材料，但是它的介電各向異性是一項重要的設計複雜化，對藍寶石基板單微帶線切斷與一個指定的方向准靜態特性。考慮到各向異性，一個新的介電常數參數epsilonreq被引入，這是Iinewidth的函數到基板高度的比W / H 。 epsilonreq與W / H的變化是由有限差分方法得出。萬向曲線微帶上正確地定向藍寶石呈現，表示1） epsilonreq ，2）低頻極限的有效介電常數微帶epsilone0 ，線Z 0 ，所有3個）的特性阻抗為W / H功能。

建立了一種矽薄膜的SiH4對單晶藍寶石的熱分解沉積發展。電子衍射和薄膜的勞厄反射檢查顯示了單晶圖案。矽膜具有135 cm²/volt-second霍爾遷移率在1017/cm³的孔密度。絕緣柵場效應晶體管具有1000 μmho在5毫安一個跨導為10 μ的源 - 漏間隔為120 μ的活性距離的尺寸而進行。此值可媲美作出體矽類似的單位，是非常令人鼓舞的薄膜矽設備的可能性。


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