對藍寶石襯底生長由低壓有機金屬氣相外延氮化鎵成核層的替代顯微

詳細內容: 分類：藍寶石長晶爐-鎢制品新聞; 發佈於：2014-01-23, 週四 11:24; 點擊數：1373

主要是六方晶系氮化鎵成核層通過低壓有機金屬氣相外延生長在藍寶石襯底上。氮化鎵關於正常藍寶石基板的單個晶粒的傾斜角度被確定為在從0°到5 °的範圍內通過選擇區域電子衍射。觀察到氮化鎵構成的立方相的一小部分被選擇性地分布在晶界區和瞬時表面狀態是建議在閃鋅礦相的成核中發揮重要作用。由六方引起的從離子束輻射沉重的氮化鎵立方相轉變也注意到了。臨界溫度建議在形成主要是立方或六方氮化鎵成核層存在。

研究了生長的氮化鎵外延層的氮化鎵緩沖層的生長速率的影響。人們發現這個增長速度在改善氮化鎵薄膜的藍寶石襯底上的質量和最佳的生長速率，存在產生最佳的晶體質量的關鍵作用。上生長的緩沖層與18.3納米的最適生長速率的氮化鎵薄膜/分鐘具有539平方厘米/ VS的電子霍爾遷移率和大約2×108cm^-2的位錯密度。氮化鎵薄膜的品質，這些改進是通過促進橫向生長模式的說明。

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