氧化鋅薄膜的射頻磁控濺射R面藍寶石襯底上外延生長

氧化鋅薄膜沉積在R面藍寶石襯底上。熱能和氧化鋅薄膜的生長的濺射物的動能的影響進行了調查。通過改變襯底溫度，腔室壓力，並且射頻功率，氧化鋅薄膜的結構從多晶轉化外延在R面藍寶石襯底上。高品質的氧化鋅外延薄膜的生長，在400 ℃， 250瓦的條件下，和5毫乇。根據反射高能電子衍射和反射電子顯微鏡觀察，有沒有雙衍射變形及任何其他模式。其利用原子力顯微鏡觀察表面粗糙度約為27納米。

A 1.5 GHz範圍內的低插入損耗表面聲波（SAW）濾波器一直采用的氧化鋅/藍寶石襯底和IIDT型電極與兩個外部反射器開發的。該過濾器具有1.3 dB的插入損耗，大於30 dB阻帶衰減和50Ω電阻純的，無需外部匹配網絡匹配阻抗。該濾波器具有先前報道的所有橫向型吉赫範圍的SAW濾波器的最小插入損耗，它是適合於用作一個射頻級濾波器，用於未來的1.5 GHz範圍內的日本數字蜂窩系統。


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