在c面藍寶石襯底沿N面極性方向沉積氮化鎵薄膜的生長方式和表面形貌

在生長條件下的氮化鎵薄膜的極性方向的依賴關系進行了研究，通過改變在供給原料氣體或沉積速率任group-V/group-III（ V / III） 。 氮化鎵薄膜沉積在氮化藍寶石兩步金屬有機物化學氣相沉積。從平面六角形的表面形態改變為錐體六角形小面的V / III比的增加。然而氮化鎵構成的20nm的厚度的優化的緩沖層的極性方向是N面（ -c）的極性，獨立的兩個V / III比，沉積速率。

在氮化鎵外延層的極性可通過該接口在氮化鎵外延層的沉積（氮化的藍寶石，退火緩沖層或氮化鎵基板）來確定。高V / III比增強成核密度，並減少六邊形的小平面的大小。細胞核，形成纖鋅礦結構的氮化鎵的有利六邊形的小平面，橫向應一起成長的方向覆蓋面，直到聚結之間的空間。合並後，-c氮化鎵生長在一個平面六邊形面導致錐體六角面。生長模式-C的氮化鎵已經相對於表面結構和吸附前體的遷移長度所討論的，在鎵面（ + C ）的氮化鎵比較。


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