研究藍寶石表面製備的Ⅲ族氮化物異質外延生長的化學處理

用硫酸、磷酸，和3:1的硫酸的藍寶石襯底的腐蝕：磷酸的混合物，如溫度和蝕刻時間的函數，進行了系統的使用原子力顯微鏡研究。藍寶石製備用液基蝕刻用H2蝕刻相比於在1400℃ 1100 ℃，空氣中退火在液體為基礎的治療，是通過在300 ℃，30分鐘蝕刻在純硫酸獲得最流暢的，坑的表面。硫酸蝕刻在更高的溫度或更長的時間產生的硫酸鋁和硫酸鋁的表面上3⋅17H2O結晶沉積的不溶性混合物。

磷酸和3:1的硫酸：磷酸的混合物，它是用於藍寶石製備的常規使用化學處理，蝕刻在藍寶石優先在缺陷位點，導致在表面上形成凹坑。使用氫氣在1100℃的藍寶石治療沒有去除表面損傷。空氣退火的藍寶石，在1400 ℃下進行1小時，產生的原子級平滑表面上，包括一個平臺和臺階結構的。本研究的結果在藍寶石蝕刻過程的化學的角度進行了描述。


鎢產品生產商、供應商：中鎢在線科技有限公司
產品詳情查閱：http://www.chinatungsten.com
訂購電話：0592-5129696 傳真：0592-5129797
電子郵件：sales@chinatungsten.com
鎢鉬文庫：http://i.chinatungsten.com
鎢新聞、價格手機網站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
鉬新聞、鉬價格：http://news.molybdenum.com.cn

• < 前一頁
• 下一個 >