大尺寸襯底有效降低LED芯片成本

大尺寸襯底可以在每個MOCVD輪次中製作更多的晶片，因此採用大尺寸藍寶石襯底是降低LED晶片成本的主要手段之一。由於LED晶片存在邊緣無效區，所以直徑越大，晶片數量比與直徑比的優勢就越明顯。以6英寸襯底為例，表面積是2英寸襯底的9倍，晶片數量卻是2英寸襯底的10.9倍。

在提高晶片得片率的同時，大尺寸襯底還能提高單機晶片產出。由於MOCVD設備價格非常昂貴，所以提高單機晶片產量也是降低LED晶片成本的主要途徑之一。採用大尺寸襯底可以大幅提高每個輪次的晶片產量，採用6英寸襯底每個輪次的晶片產量比2英寸襯底提高55%。

在此基礎上，我們採用改良KY法技術，突破了傳統的C向長晶法，不但將產品做到了大公斤級別，而且晶體品質達到A向長晶同等甚至更優水準。通過對90kg晶體系統的測試及客戶的回饋發現，晶體的性能一致性及穩定性好，開爐合格率高達85%以上，位元錯密度差異很小。

A向長晶，C向掏棒，襯底每個點上的生長時間跨度大，張力和應力相差也較大;C向長晶，C向掏棒，襯底上張力和應力都較小。試驗表明，改良KY法 90kg晶體製作的襯底磊晶過程中彎曲度和翹曲度表現優於A向長晶。同時，晶棒最長可超過300mm，對於多線切割機來說正好匹配，無需進行多根晶棒粘結，大大提高切片效率及一致性，節約了成本。

目前，C向長晶最大已經能製作12英寸C向襯底及部件，可以大幅提升LED外延晶片的生產效率和成本競爭力。


藍寶石鎢鉬製品生產商、供應商：中鎢線上科技有限公司
產品詳情查閱：http://www.chinatungsten.com
訂購電話：0592-5129696 傳真：0592-5129797
電子郵件：sales@chinatungsten.com
鎢新聞、價格手機網站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
鎢新聞、價格手機網站，WML版：http://m.chinatungsten.com

• < 前一頁
• 下一個 >