摻雜三氧化鎢薄膜的特性

三氧化鎢薄膜摻雜不同的元素後會明顯地改善其某些特性，例如提高薄膜對某種氣體的靈敏度和選擇性等。三氧化鎢薄膜摻雜一般都是向三氧化鎢溶膠中摻入金屬離子或者以三氧化鎢薄膜作襯底來濺射稀有金屬，如鈀（Pd）、鉑（Pt）、金（Au）、銀（Ag）、鋰（Li）等。金屬離子都是以其氧化物或相應的金屬鹽的形式加入的，其中有LiN0₃，RbCl，CsCl，Bi(N0₃)₃，AgN0₃，其餘皆為金屬氧化物。

摻入不同的金屬離子添加劑，製成的氣敏元件特性會有明顯的不同。摻鈀或鉑後大大提高對氫氣的靈敏度，摻鋰後三氧化鎢薄膜的電致變色性能得到很大改善尤其是加快了著色時間和褪色時間，摻雜銀可以提高三氧化鎢薄膜對二氧化硫氣體靈敏度。製備的光纖氫氣感測器使用摻雜了鈀或鉑的三氧化鎢薄膜作氫敏元件，測試結果表明加入鈀或鉑可以提高薄膜對氫氣的靈敏度，而且加入鈀或鉑可以縮短回應時間，尤其是摻鉑回應更快速。

在三氧化鎢薄膜中摻雜了1.0%的Ag，有效地提高了在450℃下對二氧化硫（SO₂）的靈敏度和選擇性。研究表明，摻雜15% Li的三氧化鎢薄膜，該摻雜薄膜的電致變色機理與未摻雜的三氧化鎢薄膜相同，但未摻雜的薄膜著色和褪色時間都要長一些。在三氧化鎢薄膜中摻雜了Au和三氧化鉬以提高三氧化鎢薄膜對氨氣（NH₃）的選擇性。

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