微波等離子體製備氮雜二氧化鎢釩薄膜（1）

經研究發現二氧化釩在68℃左右發生一級相變，在相變過程中，二氧化釩（VO₂）會發生電阻率、磁化率、光折射率、透射率和反射率的可逆突變。雖然VO₂是MIT特性的釩鈦氧化物中最接近室溫的，但是比室溫高的相變溫度仍然大大阻礙了VO₂的應用。所以可以運用摻雜法來改變VO₂的溫度，從而提高VO₂的應用範圍。摻雜法的方式有陽離子摻雜和陰離子摻雜，而摻雜VO₂的製備方法有溶膠-凝膠法、水熱合成摻雜法、濺射摻雜法、金屬有機化合物氣相沉積法和微波等離子法等等。
經實驗發現通過微波等離子氮雜VO₂薄膜可以降低VO₂粉體的相變溫度，相變溫度可以降低至35℃。而運用微波等離子法制取氮雜二氧化鎢釩薄膜是通過選用V₂O₅和W₂O₃爲前驅物，在玻璃上鍍膜，然後采用微波等離子體增强法來合成的。



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