納米三氧化鎢的製備-納米敏感膜
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- 分類：鎢的知識
- 發佈於：2015-02-05, 週四 19:12
- 作者 cq
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以往納米WO3的製備主要集中在敏感膜上，其製備工藝也較成熟，它最早於1967年由美國人Shaver報導，而現階段立志於採用不同製備方法和工藝來提高敏感膜氣敏性能，如摻雜、降低敏感膜粒徑、表面催化等。
國外研究學者採用濺射法製備了純的和七種貴金屬摻雜的敏感膜，氣敏性能測試結果顯示，敏感膜對H2S、NO2和NH3表現出很好的靈敏性。同時，在中溫（110℃）條件下，Ag和Au摻雜的薄膜適合檢測H2S和NH3。外國研究學者在氧氣氣氛下採用熱蒸法製備了WO3敏感膜，其厚度約為20μm。氣敏測試結果表明，樣品適合在250℃對NO2進行檢測，而其對NH3和NO靈敏度不高。同時他們也強調減小晶粒是提高金屬氧化物薄膜靈敏度和選擇性的重要方法。一些外國研究學者還採用陽極電鍍法製備了單斜WO3薄膜並用其對CO、H2、NO和O2氣體進行了氣敏測試，結果顯示薄膜在200℃時出現最高的靈敏度。
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