製備鎢酸鈣薄膜影響因素-反應溫度

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2014-09-10, 週三 15:54; 作者 liwj; 點擊數：363

我們知道反應溫度對化學反應的影響一般都是從熱力學角度產生影響的，使用化學浴沉積方法製備鎢酸鈣薄膜也不例外。

以下表格是反應溫度對鎢酸鈣薄膜製備的影響：

反應溫度（℃）	40	60	80
反應時間（h）	7	7	7
薄膜厚度（nm）	75	175	250

從以上表格資料可以看出，薄膜的厚度隨反應溫度的變化而變化。反應溫度為80℃時，反應進行的快且薄膜的後的增長速度比溫度40℃和60℃的生長快的多，這說明提高反應溫度可有效提高環境提供給制備過程的能量。隨著溫度的提高會在襯底上形成更多的晶核，從而使得反應更容易朝著生成鎢酸鈣薄膜的方向進行，達到薄膜生長的目的。

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