製備氧化鎢薄膜- 化學氣相沉積法

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2014-08-20, 週三 14:57; 作者 liwj; 點擊數：347

製備氧化鎢薄膜的方法有很多，根據薄膜的性質與製備方法及工藝條件，用不同方法製備的氧化鎢薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同，以下介紹化學氣相沉積法：

製備氧化鎢薄膜-化學氣相沉積法,是利用氣體原料在氣相狀態下通過化學反應，形成並經過成核、生長兩個階段合成薄膜、粒子、晶須等固體材料。

首先將純度為99.9%的金屬鎢放在一個剛玉瓷舟中，再把瓷舟放在直徑4cm，長80cm的石英管式爐中間的位置。剛玉作為沉積氧化鎢的基底材料也置於剛玉瓷舟中位於下風口方向的位置，接著把石英管式爐正中溫度加熱至900℃時，以20sccm的流速通氧氣8h，待熱氧化過程結束，取出瓷舟，溫室下自然冷卻即可在剛玉基地上發現沉積得到的黃色的約20μm後的氧化鎢薄膜。

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