製備氧化鎢薄膜- 濺射鍍膜法

製備氧化鎢薄膜的方法有很多，根據薄膜的性質與製備方法及工藝條件，用不同方法製備的氧化鎢薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同，最常見的方法除了溶膠凝膠法還有濺射鍍膜法。

製備氧化鎢薄膜- 濺射鍍膜法，是通過高能粒子轟擊固體表面，是固體原子（或分子）從表面射出，並沉積到襯底或工件表面形成薄膜的方法，其中磁控濺射技術具有沉積速度較高、工作氣體壓力較低等獨特優越性，成為應用最廣泛的一種濺射沉積法。

首先以純度為99.95%的金屬鎢作為靶材，在氬氣和氧氣按1:1的體積比組成的混合氣體中濺射得到氧化鎢薄膜。濺射時，濺射功率為100W，基底矽片和靶材的距離為7cm。濺射2h得到的氧化鎢薄膜厚度大致為0.25-0.27μm。

鎢產品生產商、供應商：中鎢線上科技有限公司
產品詳情查閱：http://www.chinatungsten.com
訂購電話：0592-5129696 傳真：0592-5129797
電子郵件：sales@chinatungsten.com
鎢鉬文庫：http://i.chinatungsten.com
鎢新聞、價格手機網站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
鉬新聞、鉬價格：http://news.molybdenum.com.cn
關注微信公眾號“中钨在线”，了解每日最新鎢鉬價格