鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜的生産方法

鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜是一種重要的光電功能材料，因具有較高的發光效率，而廣泛應用于電致發光器件中。該發光薄膜的發光性能除了受鈰、鋇和鎂含量的影響之外，還受生産工藝及工藝參數的影響。由于當前生産技術欠佳，導致所製成的該發光薄膜的發光效率較低，而且操作複雜，成本高。

爲了彌補鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜現有生産技術的不足，專利號爲CN103534332B的研究者提出了一種新的生産方法，具體操作如下：將氧化鎂（Mg0）、氧化鋇（Ba0）、三氧化鎢（WO3）及三氧化二鈰（Ce203）混合，燒結形成濺射靶材；進行磁控濺射，形成鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜前體；將該鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜前體進行退火處理，得到鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜。

該生産技術的注意事項包括：1）氧化鎂的質量百分含量爲0.2%~10%，氧化鋇的質量百分含量爲0.2%~30%、三氧化二鈰的質量百分含量爲0.02%~0.6%，餘量爲三氧化鎢；2）燒結步驟中溫度爲900~1300℃；3）濺射步驟條件爲：襯底和靶材距離爲50~100mm、襯底溫度爲 250℃~750℃、氫氣和惰性氣體混合氣體爲工作氣體，氣體流量15~30sccm、壓强0.2~4.5Pa；4）退火的溫度爲500C~800℃，時間爲1-3小時。

利用該生産技術製備的鈰摻雜鎢酸鋇鎂發光薄膜具有較好的發光性能，在紅光區和藍光區有較强的發光峰；該方法具有操作簡單、成本低廉，適于工業化生産的優點。

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