微提拉旋轉泡生法製備藍寶石晶體工藝

微提拉旋轉泡生法製備藍寶石晶體方法在對泡生法和提拉法改進的基礎上發展而來的用於生長大尺寸藍寶石晶體的方法，主要在烏克蘭頓涅茨公司生產的Ikal-220型晶體生長爐的基礎上改進和開發。晶體生長系統主要包括控制系統、真空系統、加熱體、冷卻系統和熱防護系統等。微提拉旋轉泡生法大尺寸藍寶石晶體生長技術主要是通過調控系統內的熱量輸運來控制整個晶體的生長過程，因此加熱體與熱防護系統的設計，熱交換器工作流體的選擇、散熱能力的設計，晶體生長速率、冷卻速率的控制等工藝問題對能否生長出品質優良的藍寶石晶體都至關重要。

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