氧化鎢活化難題

隨著感測器技術的發展，半導體氣體感測器的研究方向正向常溫化、集成化、低功耗的方向發展。氧化鎢因其靈敏度較高受到廣大研究者的關注。研究者通過改變活化方式實現了檢測溫度的室溫化，但氧化鎢室溫感測器依然存在靈敏度低、回應恢復慢、選擇性和穩定性差等缺點，而這些缺陷也正是室溫氧化鎢氣體感測器實用化面臨的挑戰。

目前各類活化氧化鎢的方式中，採用有機物活化的氣敏材料，靈敏度較高，但是反應速度等指標仍有待改善。此外，室溫氧化鎢材料還面臨著製備成本高、重複性差等難題，需要通過開發新材料和改進製備工藝解決此類問題。

在合成氧化鎢異質結構、開發新型納米結構、有機/無機物活化、增加氧空位濃度以降低材料的帶隙寬度等方面，國內已進行了卓有成效的工作。但這四個方面仍然有很多工作可以開展，例如開發更有效的p-n結、更高比表面積的等級多孔納米結構、更有效的敏化材料和更簡易實用的氧缺陷材料製備方法，以獲得較好的回應恢復速度，並提高穩定性和靈敏度。這將不僅是氧化鎢室溫氣體感測器，也是其他類型室溫氣體感測器未來發展的趨勢。

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