氧化鎢納米花合成步驟

氧化鎢納米花作為一種新型氧化鎢結構體，在性能上有著其獨特的優勢特點。而氧化鎢納米花的合成方法主要以種子種植法為主，其合成所需條件如下：

使用真空熱蒸發鍍膜機作為鍍膜設備。其所使用的加熱電極為鎢舟，溫度探測儀為紅外溫度探測儀，襯底為石英片。種子種植法製備氧化鎢納米花結構體的環境氛圍是：壓強5 Pa、氧氣流量2.5sccm、氬氣流量200sccm。

氧化鎢納米花的合成步驟如下：

（1）抽真空：打開機械泵進行抽真空流程20分鐘，使腔內壓強至96 Pa。

（2）通入2.5sccm的氧氣和200sccm的氬氣， 等待20分鐘。

（3）打開熱蒸發電源，以60℃/min的升溫速度，把鎢舟逐漸加熱到800 ℃。然後保溫15分鐘，鎢舟的表面將快速氧化為氧化鎢並昇華為氣相。

（4）以60℃/min 的降溫速度，把鎢舟的溫度降至室溫，使樣品在真空腔內冷卻15 分鐘直至室溫，即可製成納米花結構體。

• < 前一頁
• 下一個 >