不同濺射功率製備三氧化鎢薄膜

磁控濺射法是製備三氧化鎢薄膜的一種主要方法之一。在磁控濺射法製備三氧化鎢薄膜的過程中，不同的濺射功率所製備的三氧化鎢薄膜表面特性也不盡相同。同時濺射功率的大小也影響著三氧化鎢薄膜的內部特性。

在進行磁控濺射法之前，首先需要對三氧化鎢進行一段時間的預濺射。預濺射時間長短依據三氧化鎢在空氣中存放的時間長短而定，一般預濺射時間為 10-15分鐘。這樣做的目的是為了除去鎢三氧化鎢表面在空氣中存放所積累的污染物。

磁控濺射在基底所形成三氧化鎢薄膜的過程，是從三氧化鎢所濺射出的原子和腔室內的活性氣體之間通過反應得到的。濺射電壓控制著三氧化鎢的輝光放電，也為後續的化學反應提供條件。所以腔室內部的氣體構成和濺射功率直接決定薄膜成分和性能的變化。

對比濺射功率分別為為 100W、80W、60W 的情況下的三氧化鎢薄膜透射光譜圖，可以發現功率過大過小都會降低其電致變色性能，80W 時透射率差值最為理想。功率不同就會影響濺射過程中轟擊出的鎢離子在基片上成膜的效果，從而影響薄膜的結構，進一步會影響到薄膜的變色性能。在濺射功率為 80W 時，比較著色態和褪色態在波長為 390nm-760nm 波長範圍內的透過率差，可以發現其變色性能很好，兩種狀態下的透過率差平均達到 80%以上。所製備的三氧化鎢薄膜褪色後的透過率與原始態相差很小，所以也體現出了很好的可逆性。

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