六氟化鎢（WF6）是一種無機化合物，常溫常壓下爲無色氣體，主要應用在集成電路製造領域，具體來說，在化學氣相沉積工藝中，通過沉積和堆叠製成大規模集成電路中的導電膜和金屬配綫材料。工業上常用固定床反應器使金屬鎢與氟氣或N3F直接反應的方法來製備WF6，在實際操作中産物易夾帶鎢粉，很難進行連續生産且反應器效率低。爲了解决上述的不足，專利號爲CN101428858A的研究者提出了一種新的生産方法，具體步驟如下：

三溴化鎢是由鎢元素和溴元素組成的一種的過渡金屬鹵化物，是由1個鎢原子與3溴原子組成的一種無機物，是一種黑色的晶體或粉末，英文名爲Tungsten Tribromide，化學式爲WBr3，分子量爲423.6g/mol，CAS號爲15163-24-3。

溴化鎢又稱爲鎢溴化合物，是由過渡金屬鎢元素和非金屬溴元素組成的一種無機物。根據溴原子個數的不同，它能分爲很多種類，如二溴化鎢、三溴化鎢、四溴化鎢、五溴化鎢和六溴化鎢，它們在物理化學性質、工藝參數和用途等方面上均存在一定區別。下面主要介紹的是四溴化鎢的基本信息。

五氯化鎢（WCl5）是一種極爲不穩定的無機化合物，主要體現在易氧化、易還原和易水解等，因而很難製備。當前，生産WCl5的方法有：一是還原劑還原六氯化鎢，二是通過氯化四氯化鎢製備WCl5。但是，第一種工藝容易發生過渡還原，第二種工藝容易發生過渡氧化，所以很難製備出高純度的WCl5。爲了克服現有工藝的不足，下面主要介紹的是專利文檔序號爲27433806的研究者一種新的生産及純化方法，具體步驟如下：