智能窗用三氧化鎢電致變色薄膜

智慧窗用三氧化鎢電致變色薄膜可以通過磁控濺射法製備得到。你們可能知道磁控濺射法是一種適用於多領域的薄膜製備方法，便於在實驗室中進行研究，同樣適用於企業大規模生產。那麼，你們可是知道磁控濺射法製備WO3電致變色薄膜的基本方法是什麼？

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磁控濺射法製備WO3電致變色薄膜的基本方法是：以W或WO3為靶材，工作氣體為Ar或Ar與O2混合氣體，通過施加高壓，靶材表面產生異常輝光放電，所產生的等離子體以磁場進行約束，使Ar+離子以500eV的能量對靶材進行轟擊，以離子形態從靶材表面剝離出原子以及原子簇，從而在基底表面沉積形成均勻的WO3薄膜。

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