可減少微刮痕的鎢金屬的化學機械研磨方法

本發明提供一種可減少微刮痕的鎢金屬的化學機械研磨方法。步驟如下：

1）提供一半導體基底，其包含有至少一鎢插塞及一內金屬介電層；

2）鎢金屬的化學機械研磨制程的前段研磨，採用標準鎢研磨漿，於該鎢插塞及該介電層的研磨表面上進行； 

3）鎢金屬的化學機械研磨制程的後段研磨，採用一氧化物研磨漿（使用氧化物研磨漿可有效減少介電層表面的微刮痕數量），於該鎢插塞及該介電層的研磨表面上進行。

本發明可以避免元件中產生斷路的情形，防止金屬內連線之間產生高漏電流的問題，確保半導體元件的電性品質。

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