CVD 鎢管的表面粗糙度的影響因素

由晶相檢驗結果可知，外來的雜質顆粒會嚴重影響CVD 鎢管的表面粗糙度。雜質顆粒越大，影響越顯著。

沉積層在有雜質顆粒存在的地方呈現放射狀的柱狀晶。

當雜質顆粒存在沉積基體表面時，因為雜質顆粒的存在，該部位反應氣體的流動狀態會發生改變，導致該部位的生長速度較快，從而獲得橫向生長空間，而且，這種優勢還會進一步擴大。並且，最終會導致沉積表面粗糙度增大。

沉積生長晶粒間的相互干涉也會影響CVD 鎢管的表面粗糙度。為改善鎢管表面的光滑度，可採用在沉積過程中間斷通入六氧化氟的方法。

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