CVD 鎢管的表面粗糙度

鎢管的表面粗糙度受沉積溫度的影響顯著，其粗糙度隨沉積溫度的升高而增加。

當沉積溫度從600℃升至700℃時，鎢管的表面粗糙度明顯加大。所以，沉積溫度應控制在600℃左右，以獲得表面光潔、平整度良好的沉積鎢管。

鎢管的表面粗糙度主要受膜層生長表面形貌和沉積層組織的影響。若是沉積生長介面（呈現柱狀晶）的穩定性較好，則膜層表面的平整度是最好的。隨著溫度升高到一定程度，被還原的W原子會在沉積生長介面再次形核並繼續生長，也就是說，高溫導致沉積層顯微組織和沉積生長介面發生改變，最終導致鎢管的表面粗糙程度增加。

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