CVD鎢管---氟化物與氯化物的對比

氟化物（WF₆）CVD（化學氣相沉積）與氯化物CVD的對比發現，氟化物CVD鎢管的優點如下：

雜質含量低。大多數金屬氟化物的沸點＞1000℃。所以，在恒溫條件下（20-28℃左右），WF₆蒸發階段，WF₆能夠實現其與其他大部分伴生雜質的分離。

還原反應：WF₆+ H₂ → W + 6HF (125Kj/mol)

一個標準大氣壓下，該反應在300℃以上就能夠實現；在600℃時，該反應的平衡常數已接近1。

因為該反應所需的反應溫度較低，所以可以使用一般的加熱設備（如不銹鋼等），這使得加熱設備的製作和實際操作方便了許多。即氟化物CVD方法制取鎢管階段的選擇性相對較多。

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