沉積基體位置不同對鎢管組織形貌的影響

沉積基體位置不同對鎢管的組織形貌有明顯的影響。

在靠近氣體出口端位置，測溫區域與沉積溫度比較靠近，但由於受前期沉積反應的影響，WF₆和H₂的濃度降低，HF的濃度增加，所以，還原生成鎢原子的速度下降；測溫區域的晶粒明顯比沉積組織的晶粒細小；靠近氣體出口端的鎢管厚度明顯變薄。

在靠近氣體入口端位置，由於受通入氣體的影響該位置的沉積溫度相對較低，所以，此位置獲得沉積層顯微組織柱狀晶相對細小，沉積生長速度也相對較慢。


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