鎢管的制取實驗（CVD）

實驗材料：高純氫氣，高純氬氣和高純六氟化鎢和沉積基體：紫銅管。

實驗過程（CVD）：

對沉積基體表面進行去汙、丙酮清洗、吹幹處理，然後將其置於反應室內。

為避免氫氣與空氣混合發生爆炸，應先通入氬氣排空反應室和所有管道的空氣。待空氣排空後，打開氫氣流量針閥通入氫氣並將排出的尾氣點燃，然後關閉該閥；

對沉積基體進行電流加熱，使其達到所需的沉積溫度；

把WF₆和H₂按一定比例混合後，通過流量控制設備通入反應室；

WF₆和H₂在沉積基體表面發生化學反應，得到難熔金屬沉積層；

在一定的反應時間後，關閉加熱電源、反應氣體的控制閥，使反應室降溫；

待溫度降到100℃以下後，取出試樣，經過切割，去除沉積基體後獲得鎢管。

通過改變沉積溫度、氣體流量可獲得不同工藝的鎢管，然後再對其進行測試分析。


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