熱處理溫度對三氧化鎢納米薄膜的影響

經實驗發現用磁控濺射法製備的三氧化鎢（WO₃）納米薄膜經過兩步熱處理製備出來的WO₃納米薄膜的性能更加穩定。所以熱處理的溫度對製備WO₃納米薄膜有著重要的影響。

在基片上濺射的薄膜起初是無定型結構的，對任何氣體都沒有敏感性，所以需要對薄膜進行熱處理，熱處理過後才薄膜才具有多晶結構，且穩定性得到改善。經實驗發現當熱處理溫度高于300℃時，産生尺寸爲20~70nm的WO₃納米晶體薄膜，再經過600℃熱處理得到了性能良好的納米薄膜。在熱處理高于300℃時，平均粒度和裂縫尺寸都有所增加，使得靈敏度下降。但是經過兩步的熱處理可以避免發生該現象。且經過實驗發現第二步熱處理在600℃條件下進行處理沒有發現薄膜粒徑變大或者裂紋的出現。由此可發現運用兩步熱處理方法制得薄膜比在高溫下制得薄膜性能要更好。

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