産值新增4000萬！稀土靶材降低對國外依賴

近期，包頭稀土研究院“真空蒸餾法製備高純稀土金屬鐿及靶材關鍵技術研究”項目（簡稱“稀土靶材項目”）榮獲內蒙古自治區科學技術進步獎三等獎。這就意味著我國在高純稀土金屬材料方向的國際地位能得到提升，同時高性能電子器件也能擺脫對美、日、韓等國家的依賴。

稀土靶材，又稱鍍膜靶材，可以簡單理解爲利用電子或高能激光轟擊靶材，幷使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，幷且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。其因有良好的物理化學性質，而廣泛應用于新能源汽車、集成電路、新型顯示器、5G通訊等高科技産業中。

由于受生産技術不成熟的限制，過去我國的稀土靶材大多數從國外進口，這對國産電子裝備的生産極爲不利，即不但增加了生産成本，而且靶材供應還受到限制。爲了解决這個問題，包頭稀土研究院研究者開發了高純度稀土金屬鐿靶材及型材製備技術的項目，突破了高純度金屬鐿蒸發材料的低成本、高效率、高品質製備工藝技術。

據中鎢智造瞭解，優化稀土冶煉高真空低氧蒸餾工藝，采用自行設計的冷却接收系統和過濾系統，阻隔輻射熱的同時，淨化了蒸餾的金屬鐿。通過核心工藝的控制，一次蒸餾就可以獲得純度大于99.99%的高純度金屬鐿，稀土直收率最高可達98%。

稀土靶材項目于2017年底，依托包頭稀土研究院稀土材料中試基地平臺，經過多年中試級別的産品製造技術升級、設備智能化改造、生産流程質量管控及應用領域的拓展，建成一條國際領先的有機發光材料用高純度金屬鐿靶材産品生産綫。項目成果轉化至今，靶材産品複合年銷售量增長10%左右，從2018年開始，3年新增利潤1000萬元以上，新增産值突破4000萬元。

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