積體電路用六氟化鎢

就新一代的積體電路來說，其非常適合選用六氟化鎢半導體材料來作為重點功能性原料，能顯著提高產品電化學性能，使之更適合應用於5G手機、數碼相機、電腦CPU等電子設備中。那六氟化鎢具體有哪些性質呢？

六氟化鎢（Tungsten hexafluoride）是一種無色無味氣體或者是淺黃色液體，分子式為WF6，分子量為297.84，沸點為17.5°C，熔點為2.3°C，而密度大、毒性強、腐蝕性強是它最為顯著的特點。

1、氣體密度大　

WF6在不同的溫度下表現出的形態是不一樣的，它的密度是所有被發現的氣體中最大的，在常溫狀態下六氟化鎢的結構是對稱的，並且呈現正八面體的形狀。

2、腐蝕性較強　　

WF6對玻璃具有較強的腐蝕性，在乾燥和潮濕時表現出的腐蝕程度是不一樣的，前者的腐蝕性較差，而後者則能對玻璃進行快速反應，腐蝕性較強。

3、有毒氣體　

WF6是一種有毒氣體，如果不慎進入到人體的呼吸道、皮膚和眼睛，會產生強烈的刺激和腐蝕作用，這是因為六氟化鎢在空氣和水中很快進行水解，迅速生成氟化氫和三氧化鎢，從而造成皮膚、眼睛和呼吸道等不同程度的灼傷。

六氟化鎢由於物理化學性質較為特殊的原因，而常用來作為在電子工業中的一種原材料，其經過化學氣相沉積工藝後能形成金屬鎢，再將金屬鎢用於製作成WSi2，最後再形成大規模積體電路中的配線材料。

• < 前一頁
• 下一個 >